6英寸区熔硅单晶炉实现国产化
2012年09月25日 10:32 6581次浏览 来源： 中国化工报 分类： 有色装备
近日，北京京运通科技股份有限公司成功开发出6英寸区熔单晶炉设备。采用该国产设备已连续成功拉制出6英寸区熔单晶。
中国电子专用设备工业协会对京运通公司开发的区熔单晶硅炉设备进行了技术鉴定。专家认为，该设备打破了国外对5~6英寸区熔单晶生产设备的垄断，为推进大尺寸区熔单晶设备产业化奠定了坚实基础。据介绍，区熔硅单晶纯度高于直拉硅单晶，是电力电子器件的关键材料。
责任编辑：安子
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